20世紀20年代瑞典的G.C.de赫維西和R.格洛克爾曾先后試圖應用此法從事定量分析，但由于當時記錄和探測儀器水平的限制，無法實現。40年代末，隨著核物理探測器的改進,各種計數器計數器 的供應商相繼應用在X射線的探測上，此法的實際應用才成為現實。1948年H.弗里德曼和 L.S.伯克斯制成了一臺波長色散的X射線熒光分析儀，此法才開始發展起來。此后,隨著X射線熒光分析理論和方法的逐漸開拓和完善、儀器的自動化和計算機水平的迅速提高，60年代本法在常規分析上的重要性已充分顯示出來。70年代以后，又按激發、色散和探測方法的不同，發展成為X射線光譜法（波長色散）和X射線能譜法（能量色散）兩大分支，兩者的應用現已遍及各產業和科研部門。

　　X射線熒光光譜儀的組成

　　X射線熒光光譜儀主要由激發、色散、探測、記錄及數據處理等單元組成。激發單元的作用是產生初級X射線。它由高壓發生器和X光管組成。后者功率較大，用水和油同時冷卻。色散單元的作用是分出想要波長的X射線。它由樣品室、狹縫、測角儀、分析晶體等部分組成。通過測角器以1∶2速度轉動分析晶體和探測器，可在不同的布拉格角位置上測得不同波長的X射線而作元素的定性分析。探測器的作用是將X射線光子能量轉化為電能，常用的有蓋格計數管、正比計數管、閃爍計數管、半導體探測器等。記錄單元由放大器、脈沖幅度分析器、顯示部分組成。通過定標器的脈沖分析信號可以直接輸入計算機，進行聯機處理而得到被測元素的含量。

　　X射線熒光光譜儀的具體步驟

　　X射線熒光光譜儀又根據一次能夠分析單個元素或多個元素，而有單道與多道之分。貴金屬首飾的x射線熒光光譜分析法是金融組織推薦的檢測方法之一。由于元素及含量直接顯示，所以測定起來很簡單，尤其是定性分析和半定量分析快速、準確。定量分析比定性和半定量分析都要復雜，因為它需要一個比較的標準。

　　具體的步驟是：

　　1．做好標樣的定量變化工作曲線；

　　2．將被測樣品放入樣品室測試，記錄元素和含量參數；

　　3．翻動被測樣品，再記錄元素和含量參數；

　　4．根據平均的含量參數查標準工作曲線，從工作曲線中找到元素的準確含。

　　X射線熒光光譜儀的特點

　　l. 分析的元素廣，幾乎元素周期表上前92號的元素都能分析；

　　2．分析含量范圍廣，從lOO％到十萬分之幾幾乎都能測，精度并不亞于其他檢測方法；

　　3．樣品在分析過程中不受破壞；

　　4．快速方便，可在一二分鐘內完成二三十個元素的測定；

　　5．與分析樣品的形態無關，固體、液體、塊、粒、粉末、薄膜或任意尺寸的樣品均可分析；

　　6. 相對于其他無損檢測方法，X射線的能量要大得多(滿功率可達2.7XW)，X射線的透射深度近lmm，它可較好地解決鍍金、包金等樣品的測試問題；

　　7．對操作人員的技術熟練程度要求不高。